(北京18日讯)目前先进制程使用的是极紫外光微影(EUV)技术,荷兰的艾司摩尔(ASML)是行业巨擘,市场由ASML掌握,EUV曝光机更是先进制程必备神器。不过中国的哈尔滨工业大学(哈工大)近期宣布,成功研发出可提供13.5纳米极紫外光的技术,中国媒体 ...
(华盛顿4日讯)半导体设备巨头艾司摩尔(ASML)推出新一代高数值孔径极紫外光(High NA EUV)曝光设备,其价格昂贵程度令人咋舌,最高达3.7亿美元(约16.66亿令吉),堪比三架F-35战斗机的价格,但这台天价机器却隐藏致命弱点,就是地震和牛只放屁。 华尔街 ...
此消息一出,对于掌握EUV曝光机主导地位的ASML(艾司摩尔)来说始料未及,该公司先前曾强调,EUV机台的开发仰赖超过40个国家、数百家供应商技术 ...
作为荷兰科技产业的“支柱”,ASML之所以能成为全球半导体产业链不可或缺的一环,究其根本,它是目前唯一能生产EUV光刻机的厂商,无论台积电或者三星,这些顶尖芯片代工厂商基本都离不开ASML的设备支持。 芯片被誉为工业时代的“粮食”,按照正常逻辑 ...
该激光器的效率号称是目前ASML EUV光刻机中使用的二氧化碳(CO2)激光器的 10 倍,并有望在多年后取代光刻系统中的 CO2 激光器。 过去数十年来 ...
当然一台顶级的EUV光刻机需要的不仅是顶级的光源系统、还要有物镜系统、双工件台、控制系统四大件组成。其中物镜系统ASML使用的是来自于蔡司的 ...